Какие факторы влияют на точность высоких линейных рельсов?
Высокая точность линейных рельсов(usually used in semiconductor manufacturing, precision testing equipment, high-end machine tools and other scenarios, the accuracy level of C5 and above, repeat positioning accuracy of<=± 0.005mm) of the accuracy of the strict constraints by the factors of multiple links, and its impact on the factors than the ordinary linear guide is more complex and sensitive, can be divided into the following categories:
Во -первых, ядро производственной цепочки влиятельных факторов
1. материал и процесс термообработки
Материальная единообразие:
направляющий корпус в основном с использованием высокоуглеродистой хромированной стали (такой как SUJ2) или керамических материалов, если материал внутреннее присутствие рыхлых, сегрегации или неметаллических включений (размер> 5 мкм может повлиять на), приведет к неравномерному распределению теплоемкого напряжения, что, в свою очередь, при долгосрочном использовании выбросы напряжения из-за выработки из-за малой девственницы (таковая циркуляция, что-то, что будет сопряжено. поврежден .
Точность термической обработки:
Если температура не контролируется должным образом во время процесса упрочнения (например, колебания скорости нагрева ± 5 градусов), это приведет к неравномерной твердости поверхности направляющей рельса (hrc 58-62 и отклонению меньше, чем или равное 1 час), разница в локальном износовом сопротивлении приведет к невыразимому ихасию и уемочной ошибке точности после долгосрочной операции; А запуска недостаточно будет остаточным внутренним напряжением, что приводит к небольшому количеству деформации направляющей рельсы с течением времени (например, деформация длины каждого метра года ＞ 0 . 002 мм, которая влияет на точность) . 0.002 мм годовой деформации по длине метра).
2. процесс обработки точности
Грубальный рельс-поперечный сечение микросхема:
Радиус направляющей железной дорожки устойчивости кривизны должен контролироваться при ± 0 . 001 мм (обычное руководство для ± 0,01 мм), если отклонение слишком большое, приведет к шарику и смещению контакта гоночной трассы, что приведет к дополнительному крутящему моменту, влияя на работу простого; Направляющая сторона плоскости датома требует меньше или равной 0,002 мм/100 мм (обычное руководство для менее или равного 0,01 мм/100 мм), в противном случае установка не может быть установлена, руководство не может быть использовано . 100 мм), в противном случае установка не может гарантировать точность позиционирования через контрольную поверхность.
Стабильность процесса шлифования:
Окончательная обработка точных направлений опирается на ультраперирующее измельчение (скорость шлифовального колеса, превышающую или равную 15000R/мин), если износ шлифовального колеса не является однородным (например, износ в час ＞ 0 {{6} 002 мм), колебание корм (± 0,00 мм или меньше), это будет привести к появлению на поверхности, с точки зрения, что требуется, что это может привести к появлению поверхности, с точки. равен 0,1 мкм/25 мм), что напрямую влияет на гладкость работы ползунка.
3. Точность сборки и сопряжения
Обычно используется направляющая направляющая направляющая направляющая процесс «Rail - ползунок», если спаривание допуска диаметра стального шарика (требования меньше или равны ± 0 . 0005 мм) несоответствующее, позиционное отклонение циркулирующего канала в ползунке (меньше или равна ± 0 {{6} 002mm), будет привлекать к установочному шарику на стале. Циклическая вибрация (амплитуда менее или равна 0,001 мм). (амплитуда меньше или равна 0,001 мм), снижая повторяемость точности позиционирования.
Во -вторых, факторы установки и ввода в эксплуатацию
1. Установка Datum Precision:
Установка основания направляющей железнодорожной плоскостности должна быть меньше или равна 0 . 005 мм/100 мм (обычная сцена меньше или равна 0 . 02 мм/100 мм), если существует удар или депрессия, приведет к деформации направляющей рельсовой деформации), что деформация (деформация точности. Шероховатость базовой поверхности должна быть меньше или равна RA0,8 мкм, в противном случае болт будет затянут из -за неровного контакта с местными напряжениями. В противном случае, когда болты затянуты, будет создано локализованное напряжение из -за неровного контакта.
При расплайке нескольких направляющих направляющих разница высоты (меньше или равна 0 . 002 мм) и смещение (меньше или равное 0,003 мм) на суставах, необходимо строго контролироваться, в противном случае слайдер будет оказывать влияние, когда он проходит через суставы, что приведет к мгновенной колебаниям в точности.
2. Метод крепления установки:
Неровная предварительная нагрузка болта (рекомендуемое управление крутящим ключом, ошибка меньше или равна ± 5%) приведет к локальному изгибу направляющей рельсы; Если расстояние между болтами слишком велик (более 300 мм), оно может быть ослаблено из -за вибрации после длительного периода работы, и будет накоплена ошибка позиционирования .
Руководство и основание фиксированного пути (например, крепление с помощью клея), если толщина клеяного слоя не является равномерной (отклонение> 0 . 002 мм), приведет к направлению следов наклона, влияя на прямую.
3. Параллелизм и корректировка коаксиальности:
Когда двойное руководство установлено, ошибка параллелизма должна быть меньше или равна 0 . 003 мм/500 мм (общая сцена меньше или равна 0,01 мм/500 мм), в противном случае сила на обоих концах слайдера несбалансирована, что генерирует дополнительный крутящий момент трения, что приводит к выполнению смещения дорожки.
Отклонение коаксиальности (меньше или равное 0 . 005 мм) с системой привода (e . g . шарикового винта), если он превышает, будет генерировать боковую силу из -за смещения направления силы привода, разрушив точность движения направляющих.
В -третьих, использование факторов окружающей среды
1. Температурные колебания:
Руководство точности чрезвычайно чувствительно к изменениям температуры, колебаниям температуры окружающей среды 1 градуса, руководство (сталь) будет обусловлено термическим расширением и сокращением длины 0 . 011 мм / м (коэффициент линейного расширения 11 ×10- ⁶ / степень), если оборудование не имеет компенсации температуры. Например, в полупроводниковой литографии необходимо контролировать температуру окружающей среды при 23 ± 0,1 градуса, чтобы избежать тепловой деформации руководства.
2. Вибрация и шок:
Внешняя вибрация (такая как ускорение вибрации заземления> 0 . 01G) будет привести к направляющему и слайдеру между микрослейкой (амплитуда> 0,0005 мм), снижая точность статического позиционирования; Частые шоки (такие как колебания силы резки в оборудовании обработки) будут ускорять износ стального мяча и гоночной трассы, так что точность использования времени с быстрым снижением.
3. чистота и смазка:
Пыль в окружающей среде (размер частиц> 0 . 5 мкм) в гоночную трассе приведет к износу стального шарика и расы, кратковременного снижения в точности; Чистота смазки (примеси частицы, менее или равные 0,001 мм) и заполнение (каждые 100 км операции для пополнения времени) недостаточно, усугубит трение, что приведет к циклическому отклонению точности.
В -четвертых, материал и использование факторов потери
1. стабильность материала:
Insufficient aging treatment of guideway material (e.g. residual stress >50MPa) will produce slow deformation (annual deformation >0 . 002mm/m) из-за высвобождения напряжения в долгосрочном использовании, что приводит к тому, что точно дрейф.
2. износ и усталость:
Даже в идеальных условиях труда напряжение контакта между стальным мячом и гоночной трассой (до 3000 МПа или более) приведет к крошечному износу, а после накопления 100 -километровой точность позиционирования может уменьшаться на 0.001-0.002 мм; Если есть разгрузка (центр смещения нагрузки ＞ 5 мм), износ будет обострен, а скорость снижения точности увеличится на 3-5 раз .
В итоге, точность Высокая точность линейна Rails является результатом синергии всей цепочки «точности производства - управление установкой - управление окружающей средой - использование и обслуживание», и любое небольшое отклонение в любой ссылке может увеличить конечную ошибку точности, поэтому необходимо выполнить весь процесс управления в проектировании и применении .}}
Связаться с нами
📞 Телефон:+86-8613116375959
📧 Электронная почта:741097243@qq.com
🌐 Официальный веб -сайт:https: // www . Automation-js . com/
